Goller, Diana; Makhlouf, Mohamed; Utz, Alexander; Gendrisch, Lutz; Kolnsberg, Stephan; Vogt, Franz; Weiler, Dirk; Vogt, Holger:
Elektro-optische Charakterisierung von Ferninfrarot-Bildaufnehmern mittels Bauelementetest in der Serienproduktion
In: MEMS, Mikroelektronik, Systeme : Proceedings / Kutter, Christoph (Hrsg.). - MikroSystemTechnik Kongress 2017; Munich, Germany; 23.10.-25.10.2017 - Berlin: VDE Verlag, 2017, S. 468 - 471
2017Aufsatz (Konferenz) in Tagungsband
Fakultät für Informations-, Medien- und Elektrotechnik » Institut für Angewandte Optik und Elektronik
Damit verbunden: 1 Publikation(en)
Titel:
Elektro-optische Charakterisierung von Ferninfrarot-Bildaufnehmern mittels Bauelementetest in der Serienproduktion
Autor*in:
Goller, Diana;Makhlouf, Mohamed;Utz, AlexanderTH Köln
DHSB-ID
THK0067439
ORCID
0000-0002-1274-4563ORCID iD
SCOPUS
41961590500
Sonstiges
der TH Köln zugeordnete Person
;Gendrisch, Lutz;Kolnsberg, Stephan;Vogt, Franz;Weiler, Dirk;Vogt, Holger
Erscheinungsjahr:
2017
Sprache des Textes:
Deutsch
Erschienen in
MEMS, Mikroelektronik, Systeme : Proceedings
Konferenz
MikroSystemTechnik Kongress 2017; Munich, Germany; 23.10.-25.10.2017
Herausgeber*in:
Kutter, Christoph
Erscheinungsort:
Berlin
Verlag:
VDE Verlag
Erscheinungsjahr:
2017
in:
S. 468 - 471
ISBN
978-3-8007-4491-6
Ressourcentyp:
Text
Access Rights:
nur Zugriff auf Metadaten
Peer Reviewed:
Peer Reviewed
Praxispartner*in:
Nein
Kategorie:
Forschung
Teil der Statistik:
Nicht Teil der Statistik

Abstract:

Das Fraunhofer IMS entwickelt und produziert ungekühlte Ferninfrarot-Bildaufnehmer (IRFPAs = infrared focal plane arrays) auf Mikrobolometer Basis [1]. Die Herstellung der Mikrobolometer erfolgt in einem Post-Processing Schritt direkt auf einer Standard 0,35 um CMOS Ausleseschaltung. Der wichtigste Parameter zur Charakterisierung von FIR-Bildaufnehmern ist die Noise Equivalent Temperature Difference (NETD). Die NETD ist als das Verhältnis des Sensor-Rauschens zu dessen Empfindlichkeit (Signal Transfer Function, SiTF) definiert. Dazu wurde als finale Abnahmemessung ein Bauelementetest eingeführt. Dieser wurde soweit automatisiert und optimiert, dass die resultierende Testzeit unter zwei Minuten liegt und die erreichbare Reproduzierbarkeit besser als 2 mK.