Kutter, Christoph (Eds.):
MEMS, Mikroelektronik, Systeme : Proceedings
MikroSystemTechnik Kongress 2017; Munich, Germany; 23.10.-25.10.2017
Berlin: VDE Verlag, 2017
2017Conference proceedings
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Title:
MEMS, Mikroelektronik, Systeme : Proceedings
Conference
MikroSystemTechnik Kongress 2017; Munich, Germany; 23.10.-25.10.2017
Editor:
Kutter, Christoph
Place of publication:
Berlin
Publisher:
VDE Verlag
Year of publication:
2017
ISBN
978-3-8007-4491-6