VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (Eds.):
Mikro-Nano-Integration : Beiträge des 7. GMM-Workshops, 22.-23. Oktober 2018 in Dortmund
7. GMM-Workshop; Dortmund, Germany; 22.10.-23.10.2018
Berlin: VDE Verlag, 2018
(GMM-Fachbericht ; 92)
Title:
Mikro-Nano-Integration : Beiträge des 7. GMM-Workshops, 22.-23. Oktober 2018 in Dortmund
Conference
7. GMM-Workshop; Dortmund, Germany; 22.10.-23.10.2018
Editor:
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik
Place of publication:
Berlin
Publisher:
VDE Verlag
Year of publication:
2018
ISBN
978-1-5231-2672-9
ISBN
978-3-8007-4789-4