Goller, Diana; Makhlouf, Mohamed; Utz, Alexander; Gendrisch, Lutz; Kolnsberg, Stephan; Vogt, Franz; Weiler, Dirk; Vogt, Holger:
Elektro-optische Charakterisierung von Ferninfrarot-Bildaufnehmern mittels Bauelementetest in der Serienproduktion
In: MEMS, Mikroelektronik, Systeme : Proceedings / Kutter, Christoph (Eds.). - MikroSystemTechnik Kongress 2017; Munich, Germany; 23.10.-25.10.2017 - Berlin: VDE Verlag, 2017, pp. 468 - 471
2017Essay (Conference) in Conference proceedings
Faculty of Information, Media and Electrical Engineering » Institute of Applied Optics and Electronics
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Title:
Elektro-optische Charakterisierung von Ferninfrarot-Bildaufnehmern mittels Bauelementetest in der Serienproduktion
Author:
Goller, Diana;Makhlouf, Mohamed;Utz, AlexanderTH Köln
DHSB-ID
THK0067439
ORCID
0000-0002-1274-4563ORCID iD
SCOPUS
41961590500
Other
person connected with TH Köln
;Gendrisch, Lutz;Kolnsberg, Stephan;Vogt, Franz;Weiler, Dirk;Vogt, Holger
Year of publication:
2017
Language of text:
German
Appears in
MEMS, Mikroelektronik, Systeme : Proceedings
Conference
MikroSystemTechnik Kongress 2017; Munich, Germany; 23.10.-25.10.2017
Editor:
Kutter, Christoph
Place of publication:
Berlin
Publisher:
VDE Verlag
Year of publication:
2017
in:
pp. 468 - 471
ISBN
978-3-8007-4491-6
Type of resource:
Text
Access Rights:
metadata only access
Peer Reviewed:
Peer Reviewed
Practice Partner:
No
Category:
Research
Part of statistic:
Not part of statistic

Abstract:

Das Fraunhofer IMS entwickelt und produziert ungekühlte Ferninfrarot-Bildaufnehmer (IRFPAs = infrared focal plane arrays) auf Mikrobolometer Basis [1]. Die Herstellung der Mikrobolometer erfolgt in einem Post-Processing Schritt direkt auf einer Standard 0,35 um CMOS Ausleseschaltung. Der wichtigste Parameter zur Charakterisierung von FIR-Bildaufnehmern ist die Noise Equivalent Temperature Difference (NETD). Die NETD ist als das Verhältnis des Sensor-Rauschens zu dessen Empfindlichkeit (Signal Transfer Function, SiTF) definiert. Dazu wurde als finale Abnahmemessung ein Bauelementetest eingeführt. Dieser wurde soweit automatisiert und optimiert, dass die resultierende Testzeit unter zwei Minuten liegt und die erreichbare Reproduzierbarkeit besser als 2 mK.